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潔凈室裝修材料要求構造與裝飾要求1.用于潔凈室嵌縫的彈性密封材料及防塵涂料必須有注明成份、品種、出廠日期、貯存有效期和施工方法的說明書以及產品書。不得使用過期產品和未經(jīng)鑒定的產品。2.潔凈室涂料地面水泥砂漿基底的水泥標號不得低于425號，水磨石地面應現(xiàn)澆，所用小石子直徑為6—15mm，水磨石細磨后，宜用不揮發(fā)的護面材料打涂。3.潔凈室墻面和吊頂?shù)哪ɑ?，應為抹灰，養(yǎng)護時間應充分。不得采用受熱、濕影響產生變形、霉變、粉化的材料。4.潔凈室使用的木材的含水率不應大于16%，并且不得...

1凈化性能檢測對潔凈室內使用的潔凈工作服的衣料內外附著的污染粒子，用下列四種方法測定：ASTM的F-51法（顯微鏡法），F(xiàn)-51修證法（計數(shù)法），HELMKE轉筒法（滾筒法，相當于ASTM試驗方法）以及振動試驗法。（1）ASTM-F-51法測試探頭裝有過濾隔膜，直接連接吸風計量泵，通過的空氣量為28L/min。測試時使空氣通過試驗衣料，將空氣中含有的發(fā)塵粒子捕到試驗用的濾膜上，用400倍顯微鏡觀察并統(tǒng)計塵埃粒子數(shù)。讀出濾膜上面的0.5-5以及5以上的粒子個數(shù)。在濾膜上面印有3...

潔凈室節(jié)能的九大技巧潔凈室里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施HVAC系統(tǒng)消耗的電力過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。率的設計和率設備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當中。升級的投資收...

潔凈室設計，把操作規(guī)程放在*位堅持執(zhí)行清潔計劃作為潔凈室顧問，我們在客戶的設施中花費了大量時間，建立現(xiàn)行條件的文檔，觀測操作。有一次，潔凈室中一條ISO7級設備包裝線產生過要求的微粒數(shù)，要求我們對潔凈室設計進行糾正。我們在調查中發(fā)現(xiàn)潔凈室設計正確，設備安裝也合適；但是，有一天我們在潔凈室外邊發(fā)現(xiàn)真正的問題是客戶的污染控制。我們觀察到一位潔凈室技術人員從更衣室走出來，穿著工作服從大廳走到一臺自動售貨機買了一塊糖又轉回潔凈室。后來我們訪問潔凈室工作人員，很清楚，他們有操作規(guī)程，但...

潔凈室FFU（層流罩）控制系統(tǒng)1、引言隨著經(jīng)濟的發(fā)展和人們生活水平的提高，人們對產品質量的要求也越來越高。而生產技術和生產環(huán)境決定了產品質量，這就迫使追求更好的生產技術和更高的生產環(huán)境。特別是電子、制藥、食品、生物工程、、實驗室等領域對生產環(huán)境有著苛刻的要求，它綜合了工藝、建筑、裝飾、給排水、空氣凈化、暖通、空調、自動控制等多方面的技術。衡量這些行業(yè)生產環(huán)境質量的主要技術指標有溫度、濕度、潔凈度、風量、室內正壓等。因此，對生產環(huán)境的各個技術指標進行合理的控制，以滿足特殊生產工...

下面是潔凈室和潔凈區(qū)工作指南：1.保持手、指甲、臉部的清潔衛(wèi)生。人員衛(wèi)生其重要。2.進入潔凈室前必須清洗眼鏡并加以消毒?？墒茄坨R的例行清洗很容易被忘記。3.精心挑選設計的服裝系統(tǒng)。潔凈生產用服裝系統(tǒng)是由不同部分組成的。這樣的服裝系統(tǒng)必須完整，并以正確的方式穿著，以保證其整體的防護性能。4.應盡量保持部件與工具潔凈。5.禁止吸煙或使用鼻煙。與不吸煙者相比，吸煙者或使用鼻煙者會向空氣中多釋放出幾百萬個粒子。6.在潔凈室內不得梳頭，甚至不能碰頭發(fā)。7.在潔凈室內一般不允許使用化妝品...

目前有相當多的方法可以用來評估分批式注入機的雜質顆粒水平。在我們的案例中，通過每周三次用KLA的SP1機臺對控片的雜質顆粒增加進行檢測，該控片用來測量不同摻雜離子的表面電阻。同時，在氬氣氛中進行離子注入的17片整批晶圓也以相同的頻率每隔一天進行監(jiān)控。使用氬氣氛的好處包括可以減少不同注入離子間的交*污染和降低氣體使用的成本。這種雙重監(jiān)控方案允許我們獲得多重注入源的變化情況，包括不同天之間，不同種類的離子之間以及不同片之間的注入波動情況。這樣的監(jiān)控結果允許我們對大部分（即便不是全...